近現(xiàn)代,隨著傳感器的快速發(fā)展及大家對(duì)高質(zhì)傳感器的追求提升,業(yè)內(nèi)人士不斷鉆研產(chǎn)品制造工藝以生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品便于占領(lǐng)銷售市場(chǎng)。那制造工藝有哪幾種呢?每種工藝對(duì)材料及電路等有哪些要求呢?
據(jù)目前所了解到的而言,主要有這四種分類:陶瓷型、厚膜型、集成型和薄膜型,具體詳節(jié)見(jiàn)下:
1、陶瓷型:
這種制造工藝是傳統(tǒng)材料的應(yīng)用,所用陶瓷材料是精細(xì)陶瓷,也被稱為高科技陶瓷。主要是依靠標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或變種的溶膠工藝,完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后,將成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié)。
2、厚膜型:
厚膜型和薄膜型是相對(duì)應(yīng),是在基片上形成膜來(lái)進(jìn)行制造,兩者的區(qū)別是厚膜型傳感器是在陶瓷制造的基片上用敏感材料的漿料進(jìn)行涂覆,而厚膜型的制造材料多是氧化鋁,涂層形成后進(jìn)行熱處理,這樣厚膜即可成型。
3、集成型:
這種生產(chǎn)工藝和生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)硅基半導(dǎo)體集成電路工藝是基本相同的。傳感器通過(guò)集成方式進(jìn)行制造后,可以獲得更小的體積并集成更多的功能,部分集成傳感器可以擁有一部分處理功能,來(lái)處理被測(cè)量信號(hào)。
4、薄膜型:
薄膜型制造涉及到納米等先進(jìn)技術(shù),齊制作方法是在介質(zhì)襯底也就是基板上用敏感材料形成一層薄膜,在制作時(shí)也可以復(fù)合一些電路系統(tǒng),這需要使用到混合工藝。
當(dāng)然這四種工藝沒(méi)有明顯的優(yōu)劣之分,都有著各自的特點(diǎn)和缺陷,但就技術(shù)應(yīng)用來(lái)說(shuō),目前使用最多的是厚膜技術(shù)和陶瓷技術(shù)更為廣。對(duì)于傳感器的生產(chǎn)廠家和使用者來(lái)說(shuō),只有在弄清楚產(chǎn)品制造工藝分類后方能更好地選擇合適產(chǎn)品用于現(xiàn)場(chǎng)。
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